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微观世界的听觉器官:MEMS硅麦克风

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发表时间:2026-06-08 09:10

在现代智能设备中,麦克风如同"耳朵",负责捕捉和转换声音信号,让设备能够"听见"并理解我们的声音。随着微机电系统(MEMS)技术的发展,硅麦克风正以其微型化、高性能的特点,逐步取代传统麦克风,成为智能设备音频采集的核心元件。

硅麦克风的工作原理

滤硅麦克风的核心在于其精巧的电容式声电转换机制。与传统麦克风不同,硅麦克风采用硅基微加工工艺制造,其核心部件是由硅薄膜与刚性背极板构成的微型可变电容器。

当声波传入硅麦克风时,声音的气压变化会使硅薄膜产生纳米级的微小振动。这层硅薄膜厚度仅几微米,在声波作用下改变与背极板之间的间距。根据平板电容公式C=εA/d,间距的变化会引起电容值的微小改变(仅几毫微微法拉)。

这个极其微弱的电容变化随后被专用集成电路(ASIC)检测并转换为电压信号。通过电荷泵升压和低噪声放大器放大后,最终输出可供处理的音频信号。整个转换过程在毫秒级时间内完成,实现了从声波到电信号的高效转换。

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硅麦克风工作原理


硅麦克风的技术优势

微型化与高集成度。硅麦克风的传感器尺寸通常仅为1mm×1mm至4mm×4mm,厚度可小于1mm,非常适合手机、TWS耳机、智能手表等紧凑型设备。基于成熟的半导体制造工艺,硅麦克风可实现大批量生产,成本可控且产品一致性好。

优异的音频性能。硅麦克风具有高信噪比、低功耗、良好的灵敏度等特点。其全固态设计无传统麦克风的振动线圈或电容极板,抗震动、耐冲击性强,稳定性高,寿命长。在回流焊接后性能几乎没有变化,且具有优异的温度特性。

数字化发展趋势。根据输出信号类型的不同,硅麦克风主要分为模拟麦克风和数字麦克风两大类。数字麦克风直接输出数字信号,抗干扰能力更强,特别适合多麦克风阵列应用,可实现波束形成和噪声消除等高级音频处理功能。

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硅麦克风应用场景


硅麦克风封装性能需求

由于硅麦克风对音频质量和长期稳定性的极高要求,封装胶水需要满足以下关键性能指标:

热膨胀系数匹配。固晶胶的热膨胀系数需要与硅芯片材料相匹配,减少因温度变化产生的热应力。热膨胀系数失配会在高低温循环运行下产生巨大热应力,可能导致器件开裂、封装失效,严重影响硅麦克风的性能和可靠性。

优异的导热性能。虽然硅麦克风功耗相对较低,但固晶胶仍需要具备良好的导热性能,确保芯片产生的热量能够及时传导出去。良好的导热性能有助于维持芯片工作温度稳定,避免温度升高影响音频信号质量。

低应力特性。硅麦克风的微机械结构对机械应力极为敏感,过大的应力会导致振膜变形或谐振频率偏移。因此,固晶胶需要具备低模量、高柔韧性的特点,能够有效吸收和分散热应力与机械应力,保证音频采集的准确性。

电气绝缘性能。固晶胶必须具有优异的电气绝缘性能,避免在信号传输过程中产生寄生电容或信号泄漏,影响硅麦克风的灵敏度和信噪比指标。

环境稳定性。硅麦克风需要在各种环境条件下保持稳定工作,固晶胶应具备良好的耐温性、耐湿性和抗老化性能,确保在宽温范围内保持稳定的物理化学性能。

我司解决方案:GX-7921系列固晶胶

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我司自主研发的GX-7921系列封装胶专为MEMS定制,GX-7921是一款具有高触变、良好附着力和高可靠性的单组分固晶保护绝缘胶黏剂,可以粘附在常用的微电子基板上,其适用于传感器、滤波器等芯片的固定及保护。

具有以下特点:

·有效避免孔隙的无溶剂设计

·适配多种固化场景的热固化工艺

·可降低应力的低模量设计

·便于施工的粘度设计与触变性

·对常用微电子基材具有粘附性

·满足多种严苛条件的高可靠性设计

·黑色单组分有机硅



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